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    2. 國內石墨砂線機金剛線切割工藝技術優勢

      作者:jcadmin 發布時間:2020-05-13 11:24:10

      金剛線切割技術具有以下優點:

      1.切割效率高,速度提升五倍。金剛石線制備技術屬于固結磨料顆粒的技術。固結磨料線切割方式基于固結在鋼絲上的磨料顆粒與工件材料之間的二體磨損切割原理,磨料顆粒直接作用于工件上,屬于一種剛性切割加工方法,大大的提高了切割效率。單片硅片切割耗時傳統砂漿切割需約10小時,金剛線切割僅需2小時。切割效率高主要緣于其技術特點:第一,金剛線采用固定方式結合金剛石顆粒,相比砂漿線處于游離狀態的磨料,不僅參與磨削切割的金剛石更多(漏損少),而且減少了磨料之間的相互磨損。第二,金剛石硬度高,耐磨損能力強,從而切削和使用壽命更長。第三,金剛線固著的金剛石的運行速度與切割線一致,而游離狀態的砂漿運行速度低于切割線。

      2.材料損耗少、出片率高。切割線線徑越大造成切割時刀縫越大從而導致材料損耗越多,而切割線的線徑是裸線徑與磨料/刃料直徑之和。金剛線因切割能力強,其鍍層比切割液與碳化硅混合形成的砂漿要小薄,從而造成的刀縫損耗較小。另外,金剛線切割造成的損傷層小于砂漿線切割,有利于切割更薄的硅片。更細的線徑、更薄的切片有利于降低材料損耗,提高硅片的出片率。目前,硅片厚度多為180-200μm,砂漿切割的刀縫損耗約為150μm,金剛線切割的刀縫損耗約為80μm。因此,金剛線切割能提高約15%的出片量。

      3.環境污染較小。砂漿切割會產生大量晶硅切割廢砂漿,廢砂漿含碳化硅、聚乙二醇、硅粉和金屬粉末成分,環境威脅較大,其中部分粒徑小于0.15μm的硅粉與水或潮濕空氣接觸時會快速反應并釋放出易燃氣體氫氣和熱量,如不進行妥善利用、處置會造成嚴重污染。金剛線固結磨料線切割方式可以直接地采用低粘度水基磨削液(主要是水),有利于改善作業環境,切屑的回收處理較容易,同時簡化洗凈等后道加工程序。增效、節能和環保效果十分明顯。

      4.產品質量提升。金剛線切割減少了加工損傷層,而且精度保持穩定,產生TTV(總厚度變化,硅片表面特定測量點的最大值和最小值之差)小。

      5、運營成本下降。金剛線切割的設備占用資本、空間占用、人力和電力占用均有下降,整個生產流程更加簡化,從而降低運營成本。

      按照制作工藝,金剛石切割線又可分為電鍍金剛石線與樹脂金剛石線。樹脂金剛石線是先將液態樹脂和金剛石粉末均勻攪拌混合,再均勻附著于鋼線上,最后經過特殊技術烘烤制成。電鍍金剛石線就是以電鍍金屬為結合劑,通過金屬的電沉積作用把金剛石磨料固結在芯線基體上而成,其中金剛石磨料的尺寸一般為幾微米到幾十微米。樹脂線(把持力低)、電鍍線(把持力高)。

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